張忠謀當年為何找上ASML？專訪《造光者》作者：艾司摩爾和台積電的精神很像
圖片來源：謝寬攝
在全球晶片戰爭的敘事裡，台積電幾乎總是被點名為台灣的「護國神山」。而在地球的另一端，來自荷蘭的艾司摩爾，則是這場角力裡最不可或缺的「造光者」，它生產的極紫外光曝光機（EUV），是目前唯一能把電路「刻」到幾奈米尺度的設備，沒有它，先進製程根本不可能存在。
《天下雜誌》出版《造光者》，作者荷蘭資深記者海因克（Marc Hijink）描繪了艾司摩爾從飛利浦實驗室邊緣的小公司，成長為主宰全球半導體生產命脈的過程。
「其實，艾司摩爾和台積電的精神是很相像的，」海因克觀察。這名艾司摩爾專家，在疫情後已三度來台，相當關心美中晶片角力下的台積與台灣半導體業。
艾司摩爾雖然位於歐洲，但它的命運和台積有著驚人相似：兩者都因技術過於關鍵而成為全球矚目焦點，同時也在美中晶片戰爭白熱化後，背負地緣政治棋子的風險。
海因克解釋，EUV在實驗室存在已久，但要讓它真正能在台積、三星和英特爾的工廠裡創造價值，「那是完全不同的挑戰，這也是我寫這本書，挖掘艾司摩爾如何走到今日地位的原因。」以下為專訪整理：
問：艾司摩爾是唯一能量產EUV曝光機的公司，如今更邁向更先進的High-NA EUV技術。但能負擔的客戶卻變少，這是艾司摩爾的挑戰嗎？
答：我不太同意這個看法。
我認為，艾司摩爾的先進技術之所以重要，是因為它能把競爭對手擋在門外，同時為客戶帶來更多價值。但就算是最先進的晶片，也不是所有層都用EUV或High-NA，很多結構還是依賴DUV（編按：比EUV早一代的微影設備，精度較低，廣泛應用在成熟製程），所以整個堆疊仍需要不同世代的微影技術配合。
上一代DUV依然不可或缺
回顧EUV上市時，艾司摩爾原本以為產業會全面轉向EUV，卻發現DUV的需求並沒有減少，反而持續成長。
AI帶動了對最先進晶片的需求，但電動車、能源網路和通訊設備也需要大量成熟節點晶片，這些還是依賴DUV。這也是為什麼公司不只在推進最尖端的機台，也不斷改進DUV，包括提高產能、對準精度，甚至還為先進封裝開發新的DUV機台。這都顯示DUV在長期內仍然關鍵。
(責任編輯 / 吳彥君)